特種氣體的分離方法一般包括精餾法、吸附法、催化法和膜分離法等。下面主要介紹特種氣體的分離器精餾法、吸收法和膜分離器。

特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造業(yè)不可缺少的原料氣體。該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展同步或超前。發(fā)展特種氣體純度是特種氣體行業(yè)的必然方向，這就需要不斷改進(jìn)特種氣體分離技術(shù)，以滿足純度要求，實(shí)現(xiàn)氣體的市場價(jià)值。在三種分離技術(shù)中，精餾技術(shù)的操作較為復(fù)雜。目前精餾的果汁計(jì)算仍處于半經(jīng)驗(yàn)狀態(tài)，但分離氣體產(chǎn)品的純度可以滿足市場上各種氣體的純度要求。吸附分離技術(shù)還需要吸附劑的發(fā)展；膜分離技術(shù)是最新的分離模式，發(fā)展迅速，對精餾技術(shù)和吸附分離技術(shù)構(gòu)成了不同程度的威脅。總之，這三種方法各有優(yōu)缺點(diǎn)。它們能夠適應(yīng)不同的場合，滿足不同的要求，為特種氣體的分離做出自己的貢獻(xiàn)。